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試作ライン
全自動キャリア式 / 銅・ニッケル ライン
全自動キャリア式 / 銅・ニッケル・錫ライン
手動 / ニッケルライン
酸処理室
検査・測定室
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検査・測定室
手動 / 静止
手動 / ニッケル・金ライン
自動 / 微細
手動 / 微細品ライン
手動 / 金ライン
検査・測定室
| 検査機器 | ||
|---|---|---|
| ･蛍光Ｘ線膜厚計 | SFT9455 | エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) |
| ･蛍光Ｘ線膜厚計 | SFT9300 | エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) |
| ･蛍光Ｘ線膜厚計 | SFT3200 | エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) |
| ･画像寸法測定器 | LM-1000/LM-1100 | (株)キーエンス |
| ･日立卓上顕微鏡 | Miniscope® TM3000 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| ･エネルギー分散型X線分析装置(EDX) | SwiftED3000 | オックスフォードインスツゥルメンツ |
| ･卓上顕微鏡 | Miniscope TM-4000plusⅡ |
(株)日立ハイテクノロジーズ |
| ･エネルギー分散型X線分光器（EDS） | AZtecOne | オックスフォードインスツルメンツ |
| ･フーリエ変換赤外分光光度計 | Nicolet iS5 FT-IR | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) |
| ･デジタルマイクロスコープ | VHX | (株)キーエンス |
| ･偏光ゼーマン原子吸光分光光度計 | Z-5310 |
(株)日立ハイテクノロジーズ |
| ･偏光ゼーマン原子吸光光度計 | Ｚ-2300 |
(株)日立ハイテクノロジーズ |
| ･原子吸光分光光度計 | 180-30 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| ･レシオビーム分光光度計 | U-1500型 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| ･ダブルビーム分光光度計 | U-2001型 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| ･環境試験器 | SH-220 （恒温恒湿試験器） |
エスペック(株) |
| ･環境試験器 | DKM400 （送風低温恒温器） |
ヤマト科学株式会社 |
| ･断面観察試料作製用研磨機 | ビューラー | |
| ･実体顕微鏡 | ||
| 公害防止設備 |
|---|
| ･排ガス洗浄装置 |
| ･排水処理装置 |
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